[发明专利]检验板式PECVD微波能力的方法有效
| 申请号： | 202010398203.6 | 申请日： | 2020-05-12 |
| 公开（公告）号： | CN111578851B | 公开（公告）日： | 2021-08-17 |
| 发明（设计）人： | 朱少杰;王贵梅;赵江雷 | 申请（专利权）人： | 晶澳太阳能有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/06 | 分类号： | G01B11/06;G01N22/00;H01L21/67;H01L31/0216 |
| 代理公司： | 北京市万慧达律师事务所 11111 | 代理人： | 张一帆 |
| 地址： | 055550 *** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本发明公开一种检验板式PECVD微波能力的方法，包括步骤：S1、设计镀膜参数；S2、选取待测石英管，仅开启待测石英管的单一端微波系统，同时通入反应气，采用镀膜参数对硅片进行镀膜，获取测试片样本；S3、逐一对每根石英管每端的微波系统循环操作S2；S4、分别选取各组测试片样本上平行于微波传导方向的同一列测试片作为测试列，检测各测试列中各个测试片的膜厚，若测试列中膜厚最大值与最小值的差值不大于20nm，则与之对应的待测石英管测试端微波能力正常；若否，则与之对应的待测石英管的测试端微波能力异常。本发明提供的方法可以精准锁定微波传导异常的石英管，以及发生异常的微波端，排查出镀膜不均匀、产能降低的原因。 | ||
| 搜索关键词： | 检验 板式 pecvd 微波 能力 方法 | ||
【主权项】：
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