[发明专利]一种提高蚀刻产品质量的蚀刻液在审
| 申请号： | 202010378511.2 | 申请日： | 2020-05-07 |
| 公开（公告）号： | CN111411361A | 公开（公告）日： | 2020-07-14 |
| 发明（设计）人： | 尹国钦;任忠平 | 申请（专利权）人： | 宁波福至新材料有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/28 | 分类号： | C23F1/28;C23F1/02 |
| 代理公司： | 上海泰能知识产权代理事务所 31233 | 代理人： | 魏峯 |
| 地址： | 315800 浙江省宁波市北*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种提高蚀刻产品质量的蚀刻液，由三氯化铁、氯化铜、硫化氢和水组成。本发明可明显降低三氯化铁蚀刻剂的蚀刻温度，加快整体蚀刻速度，进而大大提高产品的蚀刻质量，侧蚀质量可达到0.01mm以下，具有良好的应用前景。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 提高 蚀刻 产品质量 | ||
【主权项】：
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