[发明专利]一种提高蚀刻产品质量的蚀刻液在审
| 申请号： | 202010378511.2 | 申请日： | 2020-05-07 |
| 公开（公告）号： | CN111411361A | 公开（公告）日： | 2020-07-14 |
| 发明（设计）人： | 尹国钦;任忠平 | 申请（专利权）人： | 宁波福至新材料有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/28 | 分类号： | C23F1/28;C23F1/02 |
| 代理公司： | 上海泰能知识产权代理事务所 31233 | 代理人： | 魏峯 |
| 地址： | 315800 浙江省宁波市北*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 提高 蚀刻 产品质量 | ||
【权利要求书】：
1.一种提高蚀刻产品质量的蚀刻液，其特征在于：由三氯化铁、氯化铜、硫化氢和水组成。
2.根据权利要求1所述的蚀刻液，其特征在于：所述三氯化铁浓度为30％～35％。
3.根据权利要求1所述的蚀刻液，其特征在于：所述氯化铜浓度为18％～25％。
4.根据权利要求1所述的蚀刻液，其特征在于：所述硫化氢输入到蚀刻液中的压力为3-8bar。
5.根据权利要求1所述的蚀刻液，其特征在于：所述硫化氢输入量为0.5--0.8m3/h。
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