[发明专利]一种双层五边形电极的薄膜体声波谐振器

摘要

本发明公开了一种双层五边形电极的薄膜体声波谐振器。所述薄膜体声波谐振器从上至下包括顶电极、压电层、底电极构成的压电振荡堆结构，以及支撑层（连接层）和衬底。本发明所述的顶电极由内外两层五边形构成，由同一圆周的内外界五边形经一定角度旋转获得。本发明所述的顶电极外层厚度高于内层五边形厚度，在边缘处形成台阶边框，其余位置均为平面，且内外五边形任意两边均不平行，从而形成非对称图形，使得横向寄生的声波产生衰减和分散。本发明通过设计电极层的形状尺寸，在不增加工艺步骤的前提上抑制谐振器的横向剪切波，提高谐振器的Q值，优化薄膜体声波谐振器谐振特性。