[发明专利]一种双层五边形电极的薄膜体声波谐振器

权利要求书

1.一种双层五边形电极的薄膜体声波谐振器，从上至下包括顶电极、压电层、底电极构成的压电振荡堆结构以及支撑层和衬底；其特征在于：所述压电振荡堆结构的轮廓为内外两圈任意两边不平行的五边形图形；所述衬底上设有声学反射界面，压电震荡堆结构设置于声学反射界面之上，压电震荡堆结构有效面积大于声学反射界面。

2.根据权利要求1所述的双层五边形电极的薄膜体声波谐振器，其特征在于，所述顶电极由内外两圈五边形电极构成，这两圈五边形电极为同一半径圆周的内切五边形和外切五边形。

3.根据权利要求2所述的双层五边形电极的薄膜体声波谐振器，其特征在于，从俯视角度看，所述顶电极的内外两圈五边形电极之间有夹角，夹角的度数范围为0°-360°且夹角度数不等于n×36°，n为整数且n的取值范围为1-9。

4.根据权利要求2所述的双层五边形电极的薄膜体声波谐振器，其特征在于，所述顶电极的内圈五边形电极厚度为100-300nm，所述顶电极的外圈五边形电极厚度为300-1200nm。

5.根据权利要求2所述的双层五边形电极的薄膜体声波谐振器，其特征在于，所述顶电极的内外两圈五边形电极为同种材料，所述顶电极的材质为钼、钨、金、铝、银、钛中的一种以上。

6.根据权利要求1所述的双层五边形电极的薄膜体声波谐振器，其特征在于，所述衬底为高阻硅、蓝宝石衬底或SOI衬底中一种。

7.根据权利要求1所述的双层五边形电极的薄膜体声波谐振器，其特征在于，所述顶电极和底电极均为金属薄膜。

8.根据权利要求1所述的双层五边形电极的薄膜体声波谐振器，其特征在于，所述压电层为具有压电效应的薄膜材料，所述支撑层为物理支撑层或金属键合层；所述物理支撑层为绝缘薄膜；所述物理支撑层为氮化硅或二氧化硅。

9.根据权利要求8所述的双层五边形电极的薄膜体声波谐振器，其特征在于，所述压电层为具有压电效应的薄膜材料；所述压电层为PZT、AlN、GaN、ZnO、CdS及LiNbO₃中的一种及以上。

10.根据权利要求1所述的双层五边形电极的薄膜体声波谐振器，其特征在于，所述声学反射界面为空气腔或高低声阻抗交叠形成的布拉格反射层。