[发明专利]激光束均化器及包括其的激光热处理装置在审
| 申请号： | 202010324022.9 | 申请日： | 2020-04-22 |
| 公开（公告）号： | CN112305773A | 公开（公告）日： | 2021-02-02 |
| 发明（设计）人： | 埃米尔·阿斯拉诺夫;亚历山大·沃罗诺夫;朴喆镐;韩圭完 | 申请（专利权）人： | 三星显示有限公司 |
| 主分类号： | G02B27/28 | 分类号： | G02B27/28;G02B27/09;C23C14/58;H01L29/66 |
| 代理公司： | 北京钲霖知识产权代理有限公司 11722 | 代理人： | 李英艳;玉昌峰 |
| 地址： | 韩国京畿*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
公开了激光束均化器及包括其的激光热处理装置，激光束均化器包括：分离部，将输入的激光束的光成分以彼此不同角度折射并分割；以及补偿部，补偿分离的所述光成分引起的发散，所述分离部及所述补偿部分别包括具有双折射性的楔角棱镜的对，并构成为满足下式1，[式1]： |
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| 搜索关键词： | 激光束 均化器 包括 激光 热处理 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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