[发明专利]具有多范围构造的传感器组件在审
| 申请号： | 202010320588.4 | 申请日： | 2020-04-22 |
| 公开（公告）号： | CN111855066A | 公开（公告）日： | 2020-10-30 |
| 发明（设计）人： | 陈雅媚;J.霍夫曼 | 申请（专利权）人： | 测量专业股份有限公司 |
| 主分类号： | G01L9/00 | 分类号： | G01L9/00 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 贺紫秋 |
| 地址： | 美国新*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种力传感器设备(10)，包括由两个结合在一起的硅构件(14)和(16)形成的传感器管芯(12)。第一构件(14)包括第一膜片(24)和在第一膜下方的由第二构件(16)中的凹入部分(26)形成的掩埋腔(27)。第二构件包括第二膜片(44)，其由第二构件的形成背面腔(36)的下表面的凹入部分(32)形成。第一膜片(24)和第二膜片(44)彼此竖直对准。第一构件包括第一组电感测元件(48)，其定位在第一膜片(24)附近，第二组电感测元件(54)定位在第二膜片(44)附近。电触点(58)沿传感器管芯的表面设置，以促进与外部设备的电连接。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 范围 构造 传感器 组件 | ||
【主权项】：
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