[发明专利]SAW滤波器的制造方法和SAW滤波器在审
| 申请号： | 202010315329.2 | 申请日： | 2020-04-21 |
| 公开（公告）号： | CN111835313A | 公开（公告）日： | 2020-10-27 |
| 发明（设计）人： | 阿畠润;能丸圭司 | 申请（专利权）人： | 株式会社迪思科 |
| 主分类号： | H03H9/64 | 分类号： | H03H9/64;H03H3/10 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 乔婉;于靖帅 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供SAW滤波器的制造方法和SAW滤波器，控制弹性波的反射。SAW滤波器的制造方法由在正面上设定有分割预定线且在由分割预定线划分的区域内具有包含梳型电极的器件的压电体基板制造SAW滤波器，该SAW滤波器的制造方法具有如下步骤：构造物形成步骤(ST11)，从压电体基板的背面侧照射对于压电体基板具有吸收性的波长的激光束，在压电体基板的背面侧形成具有凹凸的构造物；以及分割步骤(ST12)，在构造物形成步骤(ST11)之后，沿着分割预定线将压电体基板分割。实施方式的SAW滤波器的制造方法中，通过构造物形成步骤(ST11)而形成的具有凹凸的构造物的从凸部的顶点至凹部的底面为止的距离被设定为1μm以上。 | ||
| 搜索关键词： | saw 滤波器 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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