[发明专利]沟槽式化学机械抛光保持环及其制造方法在审
| 申请号： | 202010314529.6 | 申请日： | 2020-04-20 |
| 公开（公告）号： | CN111496670A | 公开（公告）日： | 2020-08-07 |
| 发明（设计）人： | 相红旗;姚力军;潘杰 | 申请（专利权）人： | 宁波赢伟泰科新材料有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/32 | 分类号： | B24B37/32;B29C45/14 |
| 代理公司： | 成都弘毅天承知识产权代理有限公司 51230 | 代理人： | 陈仕超 |
| 地址： | 315400 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明涉及化学机械保持环的技术领域，具体是沟槽式化学机械抛光保持环及其制造方法，用于解决现有技术中金属环和塑料环通过粘合剂粘接在一起，从而导致了粘合剂可能外溢，粘合剂破碎后掉落出渣状颗粒，以及使金属环和保持环连接强度比较弱的问题。本发明包括金属环和塑料环，所述金属环包括安装面和结合面，所述结合面上开有沟槽，所述塑料环上设有通过注塑与沟槽卡接的凸缘。本发明中在注塑的过程中塑料环的凸缘直接与沟槽形成一体，从而可以极大的提高金属环和塑料环间的结合强度；金属环和塑料环间不需要通过粘合剂粘接在一起，不会存在粘合剂可能外溢和粘合剂破碎后掉落出渣状颗粒的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 沟槽 化学 机械抛光 保持 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
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