[发明专利]一种防腐蚀纳米涂层及其等离子体制备方法在审
| 申请号： | 202010301722.6 | 申请日： | 2020-04-16 |
| 公开（公告）号： | CN111378968A | 公开（公告）日： | 2020-07-07 |
| 发明（设计）人： | 黄逸凡;王裕;高明;张永亮 | 申请（专利权）人： | 深圳先进电子材料国际创新研究院 |
| 主分类号： | C23C26/00 | 分类号： | C23C26/00;B82Y30/00 |
| 代理公司： | 北京市诚辉律师事务所 11430 | 代理人： | 范盈 |
| 地址： | 518055 广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种防腐蚀纳米涂层及其等离子体制备方法，制备方法包括以下步骤：(1)低温处理基材，随后将其置于介质阻挡放电等离子体产生区域，通入第一路气体作为放电气体；(2)以第二路路气体为载气，将单体通入，开启等离子体放电，放电方式为丝状放电；所述的单体的成分至少包括一种含氟或有机硅的液体化合物。本发明克服技术偏见，利用不稳定的丝状放电等离子体来将单体雾化沉积在基体表面，而且由于基体低温和丝状放电高温存在较大的温差，更使得纳米涂层分散雾化，从而形成具有高雾度的防腐蚀涂层。本发明制备过程绿色环保、无废水和废化学试剂产生，且制备方法简单易行。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 腐蚀 纳米 涂层 及其 等离子体 制备 方法 | ||
【主权项】：
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