[发明专利]一种基于对称式柔性支撑机构的干涉光谱仪动镜扫描系统有效
| 申请号： | 202010300281.8 | 申请日： | 2020-04-16 |
| 公开（公告）号： | CN113532648B | 公开（公告）日： | 2022-10-04 |
| 发明（设计）人： | 李思远;田飞飞;张宏建;赵强;柯善良 | 申请（专利权）人： | 中国科学院西安光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G01J3/45 | 分类号： | G01J3/45;G01J3/06;G01J3/02 |
| 代理公司： | 西安智邦专利商标代理有限公司 61211 | 代理人： | 王凯敏 |
| 地址： | 710119 陕西省西*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 为克服传统动镜扫描系统精度低、成本高、质量体积大的缺点，本发明提供了一种基于对称式柔性支撑机构的干涉光谱仪动镜扫描系统，包括动镜、定镜、激光器、分束器、动镜运动驱动单元、动镜运动控制单元、动镜运动反馈单元、用于支撑动镜的支撑机构；支撑机构为对称式柔性支撑机构，包括四个动臂、两个固定体和一个运动体；四个动臂结构尺寸相同，均通过其上两个连接体和补偿体分别与运动体和两个固定体相连；单个动臂上的连接体和补偿体均为柔性铰链，利用柔性铰链实现运动传递，无隙传动、无摩擦，保证了机构的运动精度；单个动臂内形成双平行四边形嵌套结构，有效增大动镜运动的行程。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 对称 柔性 支撑 机构 干涉 光谱仪 扫描 系统 | ||
【主权项】：
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