[发明专利]减压干燥装置及减压干燥方法在审
| 申请号： | 202010296984.8 | 申请日： | 2020-04-15 |
| 公开（公告）号： | CN111452517A | 公开（公告）日： | 2020-07-28 |
| 发明（设计）人： | 黄辉 | 申请（专利权）人： | TCL华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | B41J11/00 | 分类号： | B41J11/00 |
| 代理公司： | 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 | 代理人： | 远明 |
| 地址： | 518132 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种减压干燥装置及减压干燥方法，所述减压干燥装置包括：腔体，具有容纳空间；冷凝板，开设有通孔，容置于所述容纳空间并对应所述玻璃基板设置；及抽气口，开设于所述腔体侧面，位于所述冷凝板上方。本发明通过在减压干燥装置中设置一冷凝板，所述冷凝板开设有通孔，至少部分溶剂通过所述通孔集中聚集于所述冷凝板的上表面，一定程度上避免所述溶剂的冷凝液滴滴落污染玻璃基板；同时，所述冷凝板将腔体分为第一腔室和第二腔室上下两个腔室，其中在第一腔室中配置了抽气口，可快速在所述腔体内去除残留的冷凝液滴，避免污染所述玻璃基板，使干燥中的所述溶剂得以均匀挥发。 | ||
| 搜索关键词： | 减压 干燥 装置 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于TCL华星光电技术有限公司，未经TCL华星光电技术有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202010296984.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
