[发明专利]一种全息干涉仪的全自动相位误差修正方法与系统

摘要

一种全息干涉仪的全自动相位误差修正方法，基于LCOS，对全息干涉仪系统中由光学器件，以及全息干涉仪系统搭建所引入的波前相位误差，进行自动化修正，在LCOS上加上一个相位光栅，相位光栅是由LCOS像素排列的，每个像素均要经过基于硅基液晶(LCOS)的全息三维干涉仪的全自动相位误差修正：在LCOS上加入相位光栅的参数由下述方法修正，在LCOS上加载相位光栅，而此次加载的光栅仅包含原有相位光栅的很小一部分，很小一部分指一个像素或者一个像素团(MxN个像素)，而把原有相位光栅剩余的部分清零，依次进行逐一的调控；选取G(x,y)作为被调控像素，在G(x,y)上加载光栅相位值，此时平移焦点的接收的能量决定于确定位置的像素G(1,1)以及G(x,y)这两个像素的复振幅相加，遍历完整个相位光栅，并将所记录的每一个像素点上的相位值组合形成新的相位光栅。