[发明专利]多维度多参量气体传感器及其制备方法、气体检测方法在审

专利信息
申请号: 202010280996.1 申请日: 2020-04-10
公开(公告)号: CN113514502A 公开(公告)日: 2021-10-19
发明(设计)人: 李娜;安飞;孙冰;王林;张树才;徐伟;胡适;梁文杰 申请(专利权)人: 中国石油化工股份有限公司;中国石油化工股份有限公司青岛安全工程研究院
主分类号: G01N27/12 分类号: G01N27/12
代理公司: 北京润平知识产权代理有限公司 11283 代理人: 肖冰滨;王晓晓
地址: 100728 北*** 国省代码: 北京;11
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摘要: 发明涉及气体传感器技术领域,公开了一种多维度多参量气体传感器及其制备方法。所述气体传感器包括:传感结构,用于针对多种气体产生对应的多路电信号;微加热结构,用于对所述传感结构提供不同的加热温度;信号检测系统,用于获取所述传感结构产生的多路电信号,根据所述电信号的变化情况确定所述电信号对应的气体的类别和浓度。本发明基于气体敏感材料的选择性、广谱性响应以及温度特征,在单个气体传感器上结合多种气敏传感材料实现复杂气氛检测,缩小整体器件的体积,提高集成度。
搜索关键词: 多维 参量 气体 传感器 及其 制备 方法 检测
【主权项】:
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