[发明专利]一种新型光敏铁电拓扑畴纳米岛的制备方法有效

专利信息
申请号: 202010280810.2 申请日: 2020-04-10
公开(公告)号: CN111554683B 公开(公告)日: 2023-08-22
发明(设计)人: 高兴森;杨文达;田国 申请(专利权)人: 华南师范大学
主分类号: H10B53/30 分类号: H10B53/30;B82Y40/00
代理公司: 广州新诺专利商标事务所有限公司 44100 代理人: 辜丹芸
地址: 510006 广东省广州市广州大学城*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 一种新型光敏铁电拓扑畴纳米岛的制备方法,其制备方法包括以下步骤:S1:采用脉冲激光沉积法在STO(SrTiO3)上沉积一层SRO(SrRuO3)导电层作为底电极;S2:采用脉冲激光沉积法在SRO导电层上沉积一层菱方相BFO(BiFeO3)薄膜;S3:在BFO薄膜表面铺展单层PS小球作为掩模板,再用氧等离子体刻蚀处理,然后置于离子束刻蚀机中进行刻蚀,最后去除残留的单层PS小球掩模板,得到菱方相BFO纳米岛阵列的铁电材料;S4:紫外光调控:通过压电响应力显微镜(PFM)和紫外光诱导所述菱方相BFO纳米岛阵列铁电材料,获得具有中心汇聚畴结构的光敏铁电拓扑畴纳米岛。由此,获得一种高密度、能够被外加电场以及紫外光所单独调控的铁电拓扑畴结构。
搜索关键词: 一种 新型 光敏 拓扑 纳米 制备 方法
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