[发明专利]一种超光滑表面粗糙度测量系统有效
| 申请号： | 202010276479.7 | 申请日： | 2020-04-10 |
| 公开（公告）号： | CN111609819B | 公开（公告）日： | 2022-03-25 |
| 发明（设计）人： | 苑立波;权志强 | 申请（专利权）人： | 桂林电子科技大学 |
| 主分类号： | G01B11/30 | 分类号： | G01B11/30 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 541004 广西*** | 国省代码： | 广西;45 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供的是一种超光滑表面粗糙度测量系统。其特征是：它由激光光源1、单模光纤2、环形器3、双芯光纤4、高精度位移控制模块5、待测样品6、物镜7、电荷耦合器件(CCD)8、光电探测器9和计算机10组成。其中单模光纤2和双芯光纤4经过熔融拉锥(FBT)后可将光耦合进入双芯光纤4。双芯光纤4的末端端面镀有反射膜4‑1，反射膜4‑1将双芯光纤4其中一路光信号重新耦合至光纤中作为参考光；另一路光垂直入射在待测样品6表面发生镜面反射和漫反射。其中携带待测样品6表面粗糙度信息的镜面反射光将重新耦合进入光纤中作为信号光。参考光和信号光在FBT处发生干涉，干涉信号通过单模光纤2经环形器3输出至计算机10，得到待测样品6的表面粗糙度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光滑 表面 粗糙 测量 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于桂林电子科技大学，未经桂林电子科技大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202010276479.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
