[发明专利]一种薄膜的测量方法有效
| 申请号： | 202010276441.X | 申请日： | 2020-04-09 |
| 公开（公告）号： | CN111426275B | 公开（公告）日： | 2021-12-28 |
| 发明（设计）人： | 张传维;王鑫辉;李伟奇;郭春付;杨康 | 申请（专利权）人： | 武汉颐光科技有限公司;华中科技大学 |
| 主分类号： | G01B11/06 | 分类号： | G01B11/06 |
| 代理公司： | 武汉蓝宝石专利代理事务所(特殊普通合伙) 42242 | 代理人： | 谢洋 |
| 地址： | 430000 湖北省武汉市东湖新技术开发区汤逊湖*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明涉及光学测量技术领域，特别涉及一种薄膜的测量方法，通过将黑样件放在样品台上，测量反射率谱为0的黑样件反射光强谱；将厚度已知的测量样件放在样品台上进行测量，利用光谱仪获取标准样件的反射光强谱；测量标准样件时对应的黑样光强；找到局部测量区域后关闭照明光源，利用光谱仪获取待测样件的反射光强谱；计算待测样件的实际测量反射率谱；假定待测样件的膜厚序列，通过计算获取相对应的反射率谱序列；通过表达拟合程度，拟合程度最佳时所对应的厚度d为待测样件膜厚。本发明提供的薄膜的测量方法，可实现对样品的局部区域精确测量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 薄膜 测量方法 | ||
【主权项】：
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