[发明专利]压力传感器有效
申请号: | 202010275742.0 | 申请日: | 2020-04-09 |
公开(公告)号: | CN111855069B | 公开(公告)日: | 2022-03-22 |
发明(设计)人: | 斋藤慎太郎 | 申请(专利权)人: | 株式会社鹭宫制作所 |
主分类号: | G01L9/14 | 分类号: | G01L9/14;G01L9/00;G01L19/06 |
代理公司: | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人: | 金成哲;郑毅 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明提供一种压力传感器。在压力传感器中,即使在检测真空度比较高的压力的情况下,也不会损伤膜片,而且能够可靠地避免膜片与受压板分离的事态。能够移动地配置于上壳(12)内且具有永久磁铁(26)的受压板(24)具有中空的圆锥台部(24CY),该中空的圆锥台部(24CY)嵌合于膜片(18)的锥形面部(18Fb),并具有3°以上且5°以下的范围的锥形角度,并且在压力室(10A)的压力为预定的真空度的情况下,膜片(18)的圆板部(18Fa)所抵接的连通管(10IN)内的肋(16D)的一端面位于与台阶部(10S)的面共用的平面上,该台阶部(10S)的面与下壳(10)中的形成压力室(10A)的锥形面部(10IT)相连。 | ||
搜索关键词: | 压力传感器 | ||
【主权项】:
暂无信息
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