[发明专利]具有压力感测元件和流量感测元件的集成传感器装置有效
| 申请号： | 202010264811.8 | 申请日： | 2020-04-07 |
| 公开（公告）号： | CN111795718B | 公开（公告）日： | 2022-08-16 |
| 发明（设计）人： | 理查德·查尔斯·索伦森;史蒂文·洛厄里;伊恩·本特利 | 申请（专利权）人： | 霍尼韦尔国际公司 |
| 主分类号： | G01D21/02 | 分类号： | G01D21/02;G01P5/12;G01N25/20;G01N25/18;G01L11/00 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 蒋骏;陈岚 |
| 地址： | 美国新*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明题为“具有压力感测元件和流量感测元件的集成传感器装置”。本发明提供了用于计算气态物质的热导率的装置。该装置包括：基底；覆盖构件，该覆盖构件设置在基底上，其中覆盖构件包括用于气态物质的流动隧道；流量感测元件，该流量感测元件设置在基底上，其中流量感测元件暴露于流动隧道中的气态物质；和压力感测元件，该压力感测元件设置在基底上，其中压力感测元件暴露于流动隧道中的气态物质。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 压力 元件 流量 集成 传感器 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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