[发明专利]研磨装置以及研磨方法在审
| 申请号： | 202010226645.2 | 申请日： | 2020-03-26 |
| 公开（公告）号： | CN111805433A | 公开（公告）日： | 2020-10-23 |
| 发明（设计）人： | 山本雄士;古重彻 | 申请（专利权）人： | 松下知识产权经营株式会社 |
| 主分类号： | B24B57/02 | 分类号： | B24B57/02;B24B57/00;B24B27/00;B24B37/10;B24B37/34;B24B37/26 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 刘文海 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明公开一种研磨装置以及研磨方法。研磨装置对在膜状的基材的表面形成的被研磨物进行研磨。研磨装置具有：研磨工具，其能够旋转，以作用于被研磨物；浆料喷嘴，其用于供给研磨浆料；以及研磨台，其用于将研磨工具按压于所述被研磨物。研磨台的表面被赋予了凹凸形状。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨 装置 以及 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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