[发明专利]生成结果图像的方法在审
| 申请号： | 202010217498.2 | 申请日： | 2020-03-25 |
| 公开（公告）号： | CN111739775A | 公开（公告）日： | 2020-10-02 |
| 发明（设计）人： | L.韩 | 申请（专利权）人： | 卡尔蔡司显微镜有限责任公司 |
| 主分类号： | H01J37/28 | 分类号： | H01J37/28 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 王蕊瑞 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本申请涉及一种使用粒子束系统来生成物体(1)的结果图像(37)的方法。该方法包括使用粒子束系统来记录物体(1)的区域(33)的多个一次图像，其中，每个一次图像的记录包括使该一次粒子束在区域(33)上沿扫描方向扫描并且检测由此生成的二次粒子，其中，用于记录至少一对两个一次图像的扫描方向至少相差至少10°的第一阈值；以及基于多个一次图像，生成表示物体(1)的区域(33)的结果图像(37)。 | ||
| 搜索关键词： | 生成 结果 图像 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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