[发明专利]带侧面电极的2D静电驱动MEMS扭转微镜一阶滑模和Twisting控制在审
| 申请号： | 202010217152.2 | 申请日： | 2020-03-25 |
| 公开（公告）号： | CN111487865A | 公开（公告）日： | 2020-08-04 |
| 发明（设计）人： | 秦毅;王福杰;郭芳;李裕荣;姚智伟 | 申请（专利权）人： | 东莞理工学院 |
| 主分类号： | G05B13/04 | 分类号： | G05B13/04;G02B26/08 |
| 代理公司： | 北京翔石知识产权代理事务所(普通合伙) 11816 | 代理人： | 李勇 |
| 地址： | 523808 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： |
本发明公开了一种带侧面电极的2D静电驱动MEMS扭转微镜一阶滑模和Twisting控制，通过定MEMS扭转微镜的转动角度误差，从而确定MEMS扭转微镜的转动角度误差e＝θ‑θ |
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| 搜索关键词： | 侧面 电极 静电 驱动 mems 扭转 一阶 twisting 控制 | ||
【主权项】：
暂无信息
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