[发明专利]镀膜机观察结构在审
申请号: | 202010211793.7 | 申请日: | 2020-03-25 |
公开(公告)号: | CN111235542A | 公开(公告)日: | 2020-06-05 |
发明(设计)人: | 苏朋;杨国文;宋院鑫;张松涛;赵卫东 | 申请(专利权)人: | 度亘激光技术(苏州)有限公司 |
主分类号: | C23C14/52 | 分类号: | C23C14/52;C23C14/56 |
代理公司: | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人: | 付兴奇 |
地址: | 215000 江苏省苏州市工业园区*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本申请公开了一种镀膜机观察结构,涉及镀膜设备的技术领域。本申请的镀膜机观察结构包括镀膜机本体、挡板、观察窗、转动玻璃和碎屑收集件,镀膜机本体具有壳体以及设于壳体内的镀膜腔,壳体上设有观察通道,观察通道具有第一开口端和与镀膜腔相通的第二开口端;观察窗连接于壳体上,且设于第一开口端处;挡板连接于壳体上,且设于第二开口端处;转动玻璃能转动地设于观察通道内,且位于挡板和观察窗之间;碎屑收集件设于观察通道内,碎屑收集件具有收集槽,收集槽被配置成用于收集转动玻璃上脱离的碎屑。故本申请能够用于对镀膜机的镀膜腔内的情况进行观察,使得镀膜质量较佳。 | ||
搜索关键词: | 镀膜 观察 结构 | ||
【主权项】:
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