[发明专利]镀膜机观察结构

说明书

本申请公开了一种镀膜机观察结构，涉及镀膜设备的技术领域。本申请的镀膜机观察结构包括镀膜机本体、挡板、观察窗、转动玻璃和碎屑收集件，镀膜机本体具有壳体以及设于壳体内的镀膜腔，壳体上设有观察通道，观察通道具有第一开口端和与镀膜腔相通的第二开口端；观察窗连接于壳体上，且设于第一开口端处；挡板连接于壳体上，且设于第二开口端处；转动玻璃能转动地设于观察通道内，且位于挡板和观察窗之间；碎屑收集件设于观察通道内，碎屑收集件具有收集槽，收集槽被配置成用于收集转动玻璃上脱离的碎屑。故本申请能够用于对镀膜机的镀膜腔内的情况进行观察，使得镀膜质量较佳。

技术领域

本申请涉及镀膜设备的技术领域，具体而言，涉及一种镀膜机观察结构。

背景技术

真空镀膜机是一种常用的镀膜工艺设备，广泛地用于半导体器件、金属以及其他功能性材料的薄膜制备。实际过程中，为保证镀膜质量，往往需要对镀膜机的镀膜腔内的情况经常进行观察。

发明内容

本申请的目的在于提供一种镀膜机观察结构，其能够用于对镀膜机的镀膜腔内的情况进行观察，使得镀膜质量较佳。

本申请的实施例是这样实现的：

一种镀膜机观察结构包括镀膜机本体、挡板、观察窗、转动玻璃和碎屑收集件，所述镀膜机本体具有壳体以及设于壳体内的镀膜腔，所述壳体上设有观察通道，所述观察通道具有第一开口端和与所述镀膜腔相通的第二开口端；所述观察窗连接于所述壳体上，且设于所述第一开口端处；所述挡板连接于所述壳体上，且设于所述第二开口端处；所述转动玻璃能转动地设于所述观察通道内，且位于所述挡板和所述观察窗之间；所述碎屑收集件设于所述观察通道内，所述碎屑收集件具有收集槽，所述收集槽被配置成用于收集所述转动玻璃上脱离的碎屑。

于一实施例中，所述碎屑收集件包括第一板、第二板和第三板，所述第二板与所述第一板间隔设置；所述第三板分别与所述第一板和第二板相连；其中，所述第一板、所述第二板与所述第三板形成所述收集槽，所述第一板和所述第二板分别位于所述转动玻璃的两侧。

于一实施例中，所述第一板和所述第二板为直板，所述第三板为曲形板，所述收集槽为圆弧形。

于一实施例中，所述转动玻璃的部分区域伸入所述收集槽内；其中，所述转动玻璃的径向截面面积的二分之一大于或者等于所述第一板沿宽度方向的截面面积；所述转动玻璃的径向截面面积的二分之一大于或者等于所述第二板沿宽度方向的截面面积。

于一实施例中，所述镀膜机观察结构包括转动手柄，所述观察窗上设有第一安装孔，所述转动手柄能转动地穿设于所述第一安装孔内，且所述转动手柄的端部穿过所述第一安装孔与所述转动玻璃连接。

于一实施例中，所述转动玻璃的部分区域伸入所述收集槽内；其中，所述转动玻璃的径向截面面积的二分之一大于所述第一板沿宽度方向的截面面积；所述转动玻璃的径向截面面积的二分之一小于所述第二板沿宽度方向的截面面积。

于一实施例中，所述挡板上设有第一孔，所述第二板上设有第三孔，所述第三孔的轴线与所述第一孔的轴线成重合设置。

于一实施例中，所述转动玻璃设于所述收集槽内；其中，所述转动玻璃的径向截面面积小于或者等于所述第一板沿宽度方向的截面面积；所述转动玻璃的径向截面面积小于或者等于所述第二板沿宽度方向的截面面积。

于一实施例中，所述挡板上设有第一孔，所述第一板上设有第二孔，所述第二板上设有第三孔，所述第二孔的轴线、所述第三孔的轴线与所述第一孔的轴线成重合设置。

于一实施例中，所述镀膜机观察结构包括转动手柄，所述观察窗上设有第一安装孔，所述转动手柄能转动地穿设于所述第一安装孔内，所述第二板上设有第二安装孔；所述转动手柄的端部依次穿过所述第一安装孔和所述第二安装孔与所述转动玻璃连接。