[发明专利]一种基于粘滑原理的两自由度摆动平台

摘要

本发明公开了一种基于粘滑原理的两自由度摆动平台，旨在提供一种行程大、控制难度小，调整精度高的摆动平台。Y向摆动平台通过Y向运动精密圆弧导轨安装于基座上，X向摆动平台通过X向运动精密圆弧导轨安装于Y向摆动平台上；定子模块安装于基座上；摩擦板安装于定子模块的顶部，X向摆动平台下端设置有与摩擦板相接触的球面凸台，摩擦板与球面凸台形成运动副；利用X向压电陶瓷驱动器及Y向压电陶瓷驱动器驱动所述定子模块，利用所述摩擦板与球面凸台接触面间动静摩擦相互交替实现步进位移，X向摆动平台相对于基座做X向、Y向两个自由度的摆动。该平台能实现X、Y方向的运动解耦，具有大行程、高分辨率、高精度、制造成本低的特点。