[发明专利]一种基于非接触式的翘曲度测量治具及测量方法在审
| 申请号： | 202010202245.8 | 申请日： | 2020-03-20 |
| 公开（公告）号： | CN111307058A | 公开（公告）日： | 2020-06-19 |
| 发明（设计）人： | 李菲;张景涛;王林 | 申请（专利权）人： | 华天慧创科技（西安）有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/16 | 分类号： | G01B11/16;G01B11/06 |
| 代理公司： | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人： | 郭瑶 |
| 地址： | 710078 陕西省西安*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于非接触式的翘曲度测量治具及测量方法，通过真空吸附装置将治具吸附在载物台上，并将晶圆玻璃、晶圆透镜或晶粒自然放置在治具上，通过XY移动平台、Z向载物台倾斜调节机构、XZ向载物台倾斜调节机构能够对放置有晶圆玻璃、晶圆透镜或晶粒的治具的位置进行调整，通过光学测厚仪对将晶圆玻璃、晶圆透镜或晶粒的两面进行测厚，从而得到被测物的翘曲最大值；本方法对晶圆玻璃、晶圆透镜或晶粒无破坏无污染，测量过程全部通过机器调整，操作人员不会侧碰到测件，因此，测量结果更为精确可靠。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 接触 曲度 测量 测量方法 | ||
【主权项】：
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