[发明专利]一种基于机械应变调控BaTiO3

摘要

本发明公开了一种基于机械应变调控BaTiO3铁电薄膜中极化旋转的使用方法，包括衬底和BaTiO3薄膜，薄膜设置在衬底上方，薄膜沿着[001]方向进行生长，对薄膜进行预极化处理，对四方相衬底外加双轴等效面内应力，导致铁电薄膜极化在面内向c轴方向翻转；衬底的压应变增大，极化取向完全翻转到沿c轴方向时，继续增加衬底应力，导致沿c轴方向的极化增大，方向不变；应力作用达到足以使极化取向完全沿c轴时，再逐步减小应力，记录不同应力作用下，薄膜铁电极化的大小、方向。本发明通过改变衬底应变，借助衬底与薄膜间的应变耦合的双轴等效应变调控，实现铁电自发极化面内旋转，并且可用于对BaTiO3薄膜中的极化旋转调控，也适用于较小BaTiO3体材料中极化面内转动调控。