[发明专利]超高速拍摄装置在审
| 申请号： | 202010194656.7 | 申请日： | 2020-03-19 |
| 公开（公告）号： | CN111812939A | 公开（公告）日： | 2020-10-23 |
| 发明（设计）人： | 能丸圭司;伊藤优作 | 申请（专利权）人： | 株式会社迪思科 |
| 主分类号： | G03B39/00 | 分类号： | G03B39/00;G03B15/02;G02B27/10;G02B27/42;H04N5/225;H04N5/76;H04N7/18;B23K26/38;B23K26/70 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 乔婉;于靖帅 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供超高速拍摄装置，其能够以更高的分辨率进行拍摄。超高速拍摄装置的拍摄单元包含：物镜，其与卡盘工作台所支承的被加工物对置；分束器，其配设于从物镜延伸的第一光路上；图像处理单元，其配设于从分束器延伸的第二光路上；以及照明单元，其配设于从分束器延伸的第三光路上。照明单元包含：宽频带脉冲光源；以及分光器，其将从宽频带脉冲光源射出的1脉冲的光分光成多个波长并且产生时间差。图像处理单元包含：衍射光栅，其将以时间差照射至卡盘工作台所支承的被加工物的返回光按照每个波长改变角度而进行分光；以及图像传感器，其在与波长对应的每个角度的区域如分解照片那样拍摄通过衍射光栅而分光的返回光。 | ||
| 搜索关键词： | 超高速 拍摄 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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