[发明专利]一种薄膜体声波谐振器及其制造方法及滤波器、电子设备在审
| 申请号： | 202010187154.1 | 申请日： | 2020-03-17 |
| 公开（公告）号： | CN112039476A | 公开（公告）日： | 2020-12-04 |
| 发明（设计）人： | 黄河;罗海龙;李伟 | 申请（专利权）人： | 中芯集成电路（宁波）有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/02 | 分类号： | H03H9/02;H03H9/17 |
| 代理公司： | 北京思创大成知识产权代理有限公司 11614 | 代理人： | 张立君 |
| 地址： | 315800 浙江省宁波市北*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种薄膜体声波谐振器及其制造方法及滤波器、电子设备，其中所述制造方法包括：形成电极层，刻蚀所述电极层，所述刻蚀电极层的步骤包括：在所述电极层上形成光阻挡层,所述光阻挡层能够阻止光线的通过，并能作为图形化所述电极层的掩膜层；在所述光阻挡层上形成光敏材料层；以所述光敏材料层作为掩膜，刻蚀所述光阻挡层，使所述光阻挡层形成的图案与预形成在所述电极层上的图案相同；以所述光阻挡层作为掩膜，刻蚀所述电极层，在所述电极层中形成作为有效谐振区边界的至少两个侧面，相邻两侧面围成有一夹角，所述夹角的圆弧半径小于1微米。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 薄膜 声波 谐振器 及其 制造 方法 滤波器 电子设备 | ||
【主权项】：
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