[发明专利]一种PVD法制备金属氧化物涂层的刀具转架有效
申请号: | 202010181159.3 | 申请日: | 2020-03-16 |
公开(公告)号: | CN111235541B | 公开(公告)日: | 2022-10-14 |
发明(设计)人: | 钟向丽;李加林;宋宏甲;王金斌 | 申请(专利权)人: | 湖南六方晶科技有限责任公司 |
主分类号: | C23C14/50 | 分类号: | C23C14/50;C23C14/08 |
代理公司: | 北京和信华成知识产权代理事务所(普通合伙) 11390 | 代理人: | 张永辉 |
地址: | 410000 湖南省湘潭市高*** | 国省代码: | 湖南;43 |
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摘要: | 本发明公开了一种PVD法制备金属氧化物涂层的刀具转架,包括杆架、隔套、刀片、弹簧、固定销组件、套筒和不锈钢罩。有益效果在于:在杆架上端增加弹簧以及固定销组件对底下刀片进行压紧固定,加强刀片与杆架的接触,防止其在转动过程中出现松动的现象,并且能够防止松动后导致电路传输路径断开而出现放电现象;在样品杆架上端添加一个套筒,当装载好刀片的杆架最终固定在转架上后,我们根据杆架的直径设计了一个套筒安装在杆架顶端,主要目的是避免杆架顶端沉积氧化层,增强杆架与转架底座、与真空室的导电性;转架上端设计一个不锈钢罩主要目的是防止氧化物涂层在裸露的杆架表面沉积,保持转架上下导电性。 | ||
搜索关键词: | 一种 pvd 法制 金属 氧化物 涂层 刀具 | ||
【主权项】:
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