[发明专利]纳米复合Ti-Ge-Te相变存储薄膜材料及其制备方法和应用在审
申请号: | 202010175609.8 | 申请日: | 2020-03-13 |
公开(公告)号: | CN111276610A | 公开(公告)日: | 2020-06-12 |
发明(设计)人: | 吴卫华;陈康雄;刁懿;汤皓婷;张贤;朱小芹;邹华;胡益丰 | 申请(专利权)人: | 江苏理工学院 |
主分类号: | H01L45/00 | 分类号: | H01L45/00 |
代理公司: | 南京正联知识产权代理有限公司 32243 | 代理人: | 杭行 |
地址: | 213011 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: |
本发明公开一种纳米复合Ti‑Ge‑Te相变存储薄膜材料及其制备方法和应用,该薄膜材料的化学组成符合化学通式Ti |
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搜索关键词: | 纳米 复合 ti ge te 相变 存储 薄膜 材料 及其 制备 方法 应用 | ||
【主权项】:
暂无信息
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