[发明专利]纳米复合多层氮化钛-锑信息功能薄膜及其制备方法在审
| 申请号： | 202010175129.1 | 申请日： | 2020-03-13 |
| 公开（公告）号： | CN111276607A | 公开（公告）日： | 2020-06-12 |
| 发明（设计）人： | 吴卫华;朱小芹;郑龙 | 申请（专利权）人： | 江苏理工学院 |
| 主分类号： | H01L45/00 | 分类号： | H01L45/00 |
| 代理公司： | 南京正联知识产权代理有限公司 32243 | 代理人： | 杭行 |
| 地址： | 213011 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： |
本发明公开一种纳米复合多层氮化钛‑锑信息功能薄膜及其制备方法，该薄膜的总厚度为40‑60 nm，结构通式为[TiN(a)/Sb(b)] |
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| 搜索关键词： | 纳米 复合 多层 氮化 信息 功能 薄膜 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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