[发明专利]一种TiO2在审

专利信息
申请号: 202010175020.8 申请日: 2020-03-13
公开(公告)号: CN111354806A 公开(公告)日: 2020-06-30
发明(设计)人: 周小岩;王立鑫;张翔翔;张永;邱岩;周鹏 申请(专利权)人: 中国石油大学(华东)
主分类号: H01L31/0336 分类号: H01L31/0336;H01L31/109;H01L31/18
代理公司: 济南圣达知识产权代理有限公司 37221 代理人: 郑平
地址: 266580 山*** 国省代码: 山东;37
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摘要: 发明涉及光敏材料技术领域,尤其涉及一种TiO2薄膜/SiO2/p‑Si异质结光敏材料及其制备方法与应用。所述光敏材料包括沉积在单晶p型Si衬底上的SiO2氧化层上的TiO2薄膜,所述TiO2薄膜由致密的圆锥形颗粒组成,且TiO2薄膜、SiO2氧化层和Si衬底的界面处形成TiO2薄膜/SiO2/p‑Si异质结。本发明采用喷雾热解法制备TiO2薄膜/SiO2/p‑Si异质结并进行不同光照强度下的直流交流电学性能研究,其I‑V曲线表明TiO2薄膜/SiO2/p‑Si异质结具有明显的二极管整流特性和高性能的光电导率。
搜索关键词: 一种 tio base sub
【主权项】:
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