[发明专利]一种基于图像探测器的金属反射式绝对光栅尺在审
申请号: | 202010172931.5 | 申请日: | 2020-03-13 |
公开(公告)号: | CN111336928A | 公开(公告)日: | 2020-06-26 |
发明(设计)人: | 韩庆阳;陈赟;张晰;高胜英 | 申请(专利权)人: | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
主分类号: | G01B11/02 | 分类号: | G01B11/02 |
代理公司: | 长春众邦菁华知识产权代理有限公司 22214 | 代理人: | 周蕾 |
地址: | 130033 吉*** | 国省代码: | 吉林;22 |
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摘要: | 本发明涉及一种基于图像探测器的金属反射式绝对光栅尺,解决现有绝对光栅尺装调复杂,稳定性差的技术问题。本发明的绝对光栅尺包括:金属反射式码尺,测量探头;金属反射式码尺和测量探头分别能发生沿着金属反射式码尺的纵向相对运动;金属反射式码尺上设有多个明暗条纹;测量探头包括:处理控制电路,CCD,以及光源系统。本发明采用图像处理技术来代替传统莫尔条纹技术,码尺的线条粗,制作工艺简单。在工作无需调制莫尔条纹,只需采集码尺的图像并处理,这样的设计可以大幅度的减小码尺的制作和光栅尺的装调时间,提高工作效率。码尺的制作基底采用金属,增强了绝对光栅尺的抗震性能和环境适应力;同时设计反射式测量探头,减小体积,方便安装。 | ||
搜索关键词: | 一种 基于 图像 探测器 金属 反射 绝对 光栅尺 | ||
【主权项】:
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