[发明专利]一种确定干涉仪在球面离焦检测时动态范围的方法有效
| 申请号： | 202010161017.0 | 申请日： | 2020-03-10 |
| 公开（公告）号： | CN111351425B | 公开（公告）日： | 2022-06-03 |
| 发明（设计）人： | 潘宝珠;汤靖;王雪莹;方靖淮;姜舒昊;仲崇贵;纪宪明 | 申请（专利权）人： | 南通大学 |
| 主分类号： | G01B9/02055 | 分类号： | G01B9/02055;G01B11/24 |
| 代理公司： | 北京科家知识产权代理事务所(普通合伙) 11427 | 代理人： | 徐思波 |
| 地址： | 226019 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供一种确定干涉仪在球面离焦检测时动态范围的方法，干涉仪在球面离焦检测时动态范围指：探测器完整采样时的最大波像差值或最多圆环数，确定干涉仪在球面离焦检测时动态范围即为确定探测器完整采样；探测器完整采样的要求是：干涉图可以被探测器完全分辨，且干涉图样上干涉条纹最密处的一个干涉条纹对应的波像差等于探测器的Nyquist频率对应的波像差。本发明弥补了干涉仪在球面离焦测量时缺少确定动态范围的方法，完善了干涉仪的性能指标。理论可靠，方法简单，判断准确，适用范围广。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 确定 干涉仪 球面 检测 动态 范围 方法 | ||
【主权项】：
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