[发明专利]一种确定干涉仪在球面离焦检测时动态范围的方法

权利要求书

1.一种确定干涉仪在球面离焦检测时动态范围的方法，其特征在于，干涉仪在球面离焦检测时动态范围指：探测器完整采样时的最大波像差值或最多圆环数，确定干涉仪在球面离焦检测时动态范围即为确定探测器完整采样；

探测器完整采样的要求是：干涉图可以被探测器完全分辨，且干涉图样上干涉条纹最密处的一个干涉条纹对应的波像差等于探测器的Nyquist频率对应的波像差；

球面在离焦测量时的动态范围为：

最大波像差

最多圆环数

其中，λ为数字波面干涉仪内光源波长；M*N为探测器的像元阵列。

2.根据权利要求1所述的确定干涉仪在球面离焦检测时动态范围的方法，其特征在于，球面在离焦干涉检测时的波像差方程为：

其中，f’为待测球面镜的焦距；y为待测球面的孔径高度；Δ为离焦量，即干涉仪球面镜头出射光线的焦点到待测球面球心的距离；

干涉条纹最密处在干涉图的边缘。

3.根据权利要求1所述的确定干涉仪在球面离焦检测时动态范围的方法，其特征在于，与探测器的Nyquist频率相对应的波像差对干涉条纹的要求是：干涉图边缘一个干涉圆环占用探测器的4个像元，对应的波像差为半个波长，此时的离焦量为：

其中，λ为数字波面干涉仪内光源波长；f’为待测球面镜的焦距；M*N为探测器的像元阵列；D为待测球面的口径。