[发明专利]扫描隧道显微镜及其样品架有效
申请号: | 202010155767.7 | 申请日: | 2020-03-09 |
公开(公告)号: | CN111208320B | 公开(公告)日: | 2021-06-08 |
发明(设计)人: | 王爱伟;李乔楚;李更;郇庆;高鸿钧 | 申请(专利权)人: | 中国科学院物理研究所 |
主分类号: | G01Q60/10 | 分类号: | G01Q60/10 |
代理公司: | 北京市正见永申律师事务所 11497 | 代理人: | 黄小临;冯玉清 |
地址: | 100190 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 公开了一种扫描隧道显微镜及其样品架。根据一实施例,所述扫描隧道显微镜包括Beetle‑type扫描头,所述扫描隧道显微镜的样品架包括:采用绝缘材料的底座;多个进针斜面体,每个所述进针斜面体采用导电材料且具有电极,且所述多个进针斜面体之间彼此隔开并固定在所述底座上;在所述样品架上装有样品时,所述样品通过所述电极与所述多个进针斜面体中的至少一个电气连接;并且,在所述样品架倒置于所述Beetle‑type扫描头之上时,每个所述进针斜面体的进针斜面仅与所述Beetle‑type扫描头的多个扫描管中相对应扫描管顶部的钨球相接触。本申请实施例实现了采用Beetle‑type扫描头的扫描隧道显微镜的多电极设计。 | ||
搜索关键词: | 扫描 隧道 显微镜 及其 样品 | ||
【主权项】:
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