[发明专利]一种环形玻璃载板的制造方法在审
| 申请号： | 202010147735.2 | 申请日： | 2020-03-05 |
| 公开（公告）号： | CN111453996A | 公开（公告）日： | 2020-07-28 |
| 发明（设计）人： | 严立巍;李景贤;陈政勋 | 申请（专利权）人： | 绍兴同芯成集成电路有限公司 |
| 主分类号： | C03C15/00 | 分类号： | C03C15/00;H01L21/673 |
| 代理公司： | 北京同辉知识产权代理事务所(普通合伙) 11357 | 代理人： | 王依 |
| 地址： | 312000 浙江省绍兴市越城区*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种环形玻璃载板的制造方法，属于晶圆加工领域。一种环形玻璃载板的制造方法，包括以下步骤：在玻璃板的待加工端面上布置多个流体喷头；向所述待加工端面喷洒腐蚀液；多个所述流体喷头相对于所述玻璃板，且围绕所述待加工端面中心，进行圆周运动；所述流体喷头喷射流体，将所述待加工端面的腐蚀液吹向所述待加工端面中部。与现有的制造方法相比，本申请的制造方法通过喷射气体使腐蚀液保持在圆形区域内，不需要再加工专用保护膜或其他用于辅助成型的结构，简化了生产工艺，减少制造成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 环形 玻璃 制造 方法 | ||
【主权项】：
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