[发明专利]一种浸没注入原位表面梯度重构耐磨类金刚石涂层改性工艺方法

摘要

本发明公开了一种基于浸没注入原位表面梯度重构耐磨类金刚石涂层改性工艺方法，该工艺包括清洗类金刚石涂层表面、惰性气体离子浸没注入、去应力处理等步骤，惰性气体离子选用He+、Ne+、Ar+。通过惰性气体离子浸没注入类金刚石涂层引入原位缺陷使涂层中部分碳原子杂化方式由金刚石（sp3）结构转变为石墨（sp2）结构，通过微调控沿涂层厚度方向石墨成分的梯度分布，在保证涂层强度和韧性前提下进一步增强涂层的润滑性能。改性后涂层的表面粗糙度减小，干摩擦系数低至0.1‑0.2。采用该改性工艺方法可进一步提高类金刚石涂层及整体机械设备部件的耐磨性能及使役寿命，且可用于复杂外形结构工件的表面改性，并具有高效率、低成本、无污染等突出特点。