[发明专利]陶瓷电极、具有其的薄膜传感器及该陶瓷电极的制作方法在审
| 申请号： | 202010140011.5 | 申请日： | 2020-03-03 |
| 公开（公告）号： | CN111220320A | 公开（公告）日： | 2020-06-02 |
| 发明（设计）人： | 张心强;陈林 | 申请（专利权）人： | 中科九微科技有限公司 |
| 主分类号： | G01L21/00 | 分类号： | G01L21/00 |
| 代理公司： | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人： | 秦广成 |
| 地址： | 637000 四川省南充市顺庆*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明提供的陶瓷电极、具有其的薄膜传感器及该陶瓷电极的制作方法，属于薄膜传感器技术领域，其中，陶瓷电极包括：陶瓷基底、定电极层和支撑结构，所述支撑结构采用电镀方式沉积在陶瓷基底的与所述定电极层所在的同一面上，所述支撑结构与所述陶瓷基底之间具有镀层，所述镀层与所述定电极层的厚度相等；本发明的陶瓷电极，在陶瓷基底的设置电极层的一面，采用丝网印刷或物理气相沉积的方式还设置有电铸前的镀层，然后再在该镀层上设置支撑结构，并且所述支撑结构为通过电铸的方式精确控制厚度，不仅可避免丝网印刷或物理气相沉积的电极层厚度对电极间距的影响，而且还可以精确控制支撑结构的厚度，从而保证传感器的精度。 | ||
| 搜索关键词： | 陶瓷 电极 具有 薄膜 传感器 制作方法 | ||
【主权项】：
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