[发明专利]基于热反馈的微型流量传感器、气流测量系统及测量方法有效

专利信息
申请号: 202010136673.5 申请日: 2020-03-02
公开(公告)号: CN111323090B 公开(公告)日: 2021-12-14
发明(设计)人: 许威;王晓毅;陈妃君 申请(专利权)人: 深圳大学
主分类号: G01F1/684 分类号: G01F1/684;G01F1/692;G01P5/12
代理公司: 深圳市精英专利事务所 44242 代理人: 涂年影
地址: 518000 广东*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明涉及一种基于热反馈的微型流量传感器、气流测量系统及测量方法,其中,基于热反馈的微型流量传感器包括:传感单元、加热单元、运算放大器、电压输出端及稳压电源。本发明的基于热反馈的微型流量传感器采用简单的电路设计结构,可基于热反馈机制对气流速度进行精确测量,相比现有技术中的微型流量传感器,可大幅缩短响应时间,且对气流的测量基于热反馈机制,具有测量范围较宽的特点,尤其是对于大流速的气流具有更高的测量灵敏度。解决了传统的微型流量传感器所存在的测量灵敏度较小、测量范围较窄且响应时间较长的问题。
搜索关键词: 基于 反馈 微型 流量传感器 气流 测量 系统 测量方法
【主权项】:
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