[发明专利]一种带酯键的酸扩散抑制剂及其制备方法与光刻胶组合物

摘要

本发明属于高分子聚合物技术领域，提供了一种带酯键的酸扩散抑制剂，其是以(甲基)丙烯酸酯为结构单元，在其中引入含酯键的碱性基团形成的聚合物树脂，避免了光刻胶中高分子的树脂化合物和小分子的酸抑制剂之间的互溶性不匹配，导致成膜能力差，出现光刻胶膜脆裂、剥落等的问题，可以控制非曝光区的光酸扩散；同时能更有效改善本身在光刻胶内的溶解性和分布，提高光刻胶分辨率和线宽粗糙度，改善光刻胶的成膜能力。本发明还提供所述带酯键的酸扩散抑制剂的制备方法以及其光刻胶组合物。将本发明提供的酸扩散抑制剂应用于光刻胶组合物时，其具有分布固定、酸扩散抑制能力高并且与酸活性树脂性质匹配、成膜能力好的特点。