[发明专利]一种基于双密闭腔的光纤微结构传感器件制备方法有效
| 申请号： | 202010117444.9 | 申请日： | 2020-02-25 |
| 公开（公告）号： | CN111272306B | 公开（公告）日： | 2021-11-23 |
| 发明（设计）人： | 刘颖刚;王钰玺;杨丹青;张庭;傅海威;贾振安 | 申请（专利权）人： | 西安石油大学 |
| 主分类号： | G01K11/32 | 分类号： | G01K11/32;G01L1/24;G02B6/255 |
| 代理公司： | 西安智大知识产权代理事务所 61215 | 代理人： | 王晶 |
| 地址： | 710065 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 一种基于双密闭腔的光纤微结构传感器件制备方法，包括以下步骤；取一段单模光纤放置在具有CCD显示的三维微动平台上，加工两个方形微孔；将加工好的双微孔放置在HF溶液中，清洗掉加工时表面和孔内的材质残留；将清洗后的结构放在熔接机下，选择手动熔接程序，对两个微孔通过高温放电的形式制作出两个形状相同，距离大概在500微米左右的圆形密闭腔；将制作好的传感器接入到解调仪中采集数据，经过快速傅里叶变换提取各个腔体频率，再通过傅里叶帯通滤波法将密闭腔和两密闭腔之间的光纤腔频率图像分别确定出来；本发明可同时区分测量温度与拉力，传感器体积小，可在微小环境中工作，具有结构简单、生产成本低的特点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 密闭 光纤 微结构 传感 器件 制备 方法 | ||
【主权项】：
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