[发明专利]一种增加能量闭锁效益的石英压电晶片及晶圆在审
| 申请号： | 202010116420.1 | 申请日： | 2020-02-25 |
| 公开（公告）号： | CN111193491A | 公开（公告）日： | 2020-05-22 |
| 发明（设计）人： | 李宗杰 | 申请（专利权）人： | 广东惠伦晶体科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/19 | 分类号： | H03H9/19;H03H1/00 |
| 代理公司： | 广东莞信律师事务所 44332 | 代理人： | 钟宇宏 |
| 地址： | 523000 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供一种增加能量闭锁效益的石英压电晶片及晶圆，该晶圆包括阵列排布的石英压电晶片，所述石英压电晶片具有一基底，所述基底一端的上表面与下表面对称设置有凹槽，所述凹槽中部设置有凸台，所述凸台的高度小于凹槽的深度。该石英压电晶片具有凹槽式双凸台晶体结构，凸台与基底边缘之间的凹槽区域形成晶片第一能陷区；凸台为晶片的主振荡区，且凸台的高度小于凹槽的深度，形成晶片的第二能陷区；所以，该石英压电晶片的凹槽式双凸台结构在晶片上形成了双重能陷效果，大幅度增加了晶片的能量闭锁效益，从而降低了整个晶片的阻抗，最终使得整个晶振具有非常好的低频物理特性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 增加 能量 闭锁 效益 石英 压电 晶片 | ||
【主权项】：
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