[发明专利]一种BJT器件结构在审
申请号: | 202010116242.2 | 申请日: | 2020-02-25 |
公开(公告)号: | CN111211166A | 公开(公告)日: | 2020-05-29 |
发明(设计)人: | 周晓君;王海涛 | 申请(专利权)人: | 上海华力集成电路制造有限公司 |
主分类号: | H01L29/73 | 分类号: | H01L29/73;H01L29/08 |
代理公司: | 上海浦一知识产权代理有限公司 31211 | 代理人: | 戴广志 |
地址: | 201203 上海市浦*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明提供一种BJT器件结构,N阱;位于N阱上的P+区;位于P+区上的阻挡层结构,该阻挡层结构为覆盖于P+区上的外围框型结构以及位于该外围框型结构内与外围框型结构连接的相互间隔排布的条形结构;位于P+区上非阻挡层结构区域的金属硅化物,该金属硅化物覆盖于P+区上形成BJT器件的发射极的欧姆接触;位于N阱两侧的基极;位于基极两侧的集电极。本发明的BJT器件结构由于发射极金属硅化物为不连续结构,可以显著降低流入基区的电流,从而有效的改善BJT器件的放大系数,将放大系数提高60%。 | ||
搜索关键词: | 一种 bjt 器件 结构 | ||
【主权项】:
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