[发明专利]通过测试BJT发射结电压来监控探针台卡盘温度的方法在审
| 申请号： | 202010115918.6 | 申请日： | 2020-02-25 |
| 公开（公告）号： | CN111256857A | 公开（公告）日： | 2020-06-09 |
| 发明（设计）人： | 宛协情;李龚涛;刘晓明;俞柳江 | 申请（专利权）人： | 上海华力集成电路制造有限公司 |
| 主分类号： | G01K7/01 | 分类号： | G01K7/01 |
| 代理公司： | 上海浦一知识产权代理有限公司 31211 | 代理人： | 戴广志 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种通过测试BJT发射结电压来监控探针台卡盘温度的方法，整片测试晶圆按横纵划分为不同区域，每个区域分布有BJT器件；将测试晶圆置于探针台的卡盘上，根据BJT器件对温度的敏感性，对测试晶圆上不同区域的BJT器件进行发射结电压测试；将测试得到的整片测试晶圆上不同区域的发射结电压按BJT器件所在区域绘制为数据图；根据发射结电压与温度的关系式，计算卡盘的温度分布。本发明利用BJT器件对温度的敏感性，温度每变化1℃BJT发射结电压数值将变化1.8mV左右。因此，当探针台Chuck温度发生细微变化时将明显体现在BJT发射结电压数值上，通过对发射结电压数值的分析可以判断探针台卡盘的温度均匀性。 | ||
| 搜索关键词： | 通过 测试 bjt 发射 电压 监控 探针 卡盘 温度 方法 | ||
【主权项】：
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