[发明专利]一种仿生毛状气流流速传感器及其制备方法有效
| 申请号： | 202010114160.4 | 申请日： | 2020-02-24 |
| 公开（公告）号： | CN111208315B | 公开（公告）日： | 2022-02-01 |
| 发明（设计）人： | 韩志武;刘林鹏;张俊秋;牛士超;侯涛;孙涛;张昌超;孟宪存;刘振宁 | 申请（专利权）人： | 吉林大学 |
| 主分类号： | G01P5/04 | 分类号： | G01P5/04 |
| 代理公司： | 深圳市君胜知识产权代理事务所(普通合伙) 44268 | 代理人： | 朱阳波;王永文 |
| 地址： | 130022 吉林*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种仿生毛状气流流速传感器及其制备方法，所述传感器包括：依次设置的柔性基底薄膜、柔弹性聚合物薄膜、导电薄膜、微/纳米棒阵列；所述微/纳米棒阵列中的微/纳米棒的弹性模量大于所述柔弹性聚合物薄膜的弹性模量。由于在气流形成的外力作用下，微/纳米棒发生摆动，导电薄膜会发生形变，从而影响传感器整体电阻，根据电阻变化得到气流的流速。采用微/纳米棒阵列可以检测到较小的气流，从而提高了气流流速测量的精度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 仿生 气流 流速 传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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