[发明专利]一种双视场光相干断层扫描成像系统及材料厚度检测法有效
| 申请号： | 202010107472.2 | 申请日： | 2020-02-21 |
| 公开（公告）号： | CN111288902B | 公开（公告）日： | 2021-09-10 |
| 发明（设计）人： | 莫建华;吴倩 | 申请（专利权）人： | 苏州大学 |
| 主分类号： | G01B11/06 | 分类号： | G01B11/06 |
| 代理公司： | 南京纵横知识产权代理有限公司 32224 | 代理人： | 孙敏 |
| 地址： | 215137 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种双视场光相干断层扫描成像系统及材料厚度检测法，扫频光学相干断层扫描成像系统包括扫描成像系统，以及给扫描成像系统提供光源的扫频光源，扫描成像系统包括分别与扫频光源对应衔接的样品臂和参考臂，扫频光源分别给所述样品臂和参考臂提供采样光源或参考光源；样品臂还对应有样品放置平台，样品放置平台包括定位待测样品的姿态调整单元；样品臂与参考臂返回的光发生干涉形成干涉信号，干涉信号由平衡光电探测器检测并回传给PC机。本发明提供了一种双侧视图OCT系统，将OCT技术进一步扩展到了不透明材料的厚度测量，提高了测量非透明材料厚度的精度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 视场 相干 断层 扫描 成像 系统 材料 厚度 检测 | ||
【主权项】：
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