[发明专利]基于混合腔的F-P光纤干涉仪湿度与横向压力传感器有效

专利信息
申请号: 202010098515.5 申请日: 2020-02-18
公开(公告)号: CN111239078B 公开(公告)日: 2022-09-27
发明(设计)人: 刘博;张丽佳;毛雅亚;韩洋;忻向军;孙婷婷;赵立龙;吴泳锋;刘少鹏;宋真真;王俊锋;哈特 申请(专利权)人: 南京信息工程大学
主分类号: G01N21/45 分类号: G01N21/45;G01L11/02;G01L1/24
代理公司: 南京钟山专利代理有限公司 32252 代理人: 徐博
地址: 210044 江苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明是基于混合腔的F‑P光纤干涉仪湿度与横向压力传感器,包括导入光纤、空气泡腔和琼脂腔,导入光纤端面嵌入空气泡腔内,空气泡腔外表面远离导入光纤一侧粘覆有琼脂腔;导入光纤用于导入光源信号和传输反射光,导入光纤导入的光源信号在导入光纤端面与空气的分界面上发生第一次反射,第一次透射的光源信号经过空气泡腔在空气泡腔与琼脂腔的分界面上发生第二次反射,第二次透射的光源信号经过琼脂腔在琼脂腔与空气的分界面上发生第三次反射,第一次反射、第二次反射和第三次反射的光信号均通过导入光纤输出并发生干涉;通过湿度或压力变化导致的反射光谱强度的变化能够实现对湿度、横向压力的检测。该种传感器简单紧凑,可小型化,且制作成本低。
搜索关键词: 基于 混合 光纤 干涉仪 湿度 横向 压力传感器
【主权项】:
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