[发明专利]一种氢气探测器探测浓度范围和灵敏度的调控方法在审
| 申请号： | 202010082762.6 | 申请日： | 2020-02-07 |
| 公开（公告）号： | CN111141790A | 公开（公告）日： | 2020-05-12 |
| 发明（设计）人： | 夏晓红;高云;张欢欢;鲍钰文;凯文·皮特·霍姆伍德 | 申请（专利权）人： | 湖北大学 |
| 主分类号： | G01N27/12 | 分类号： | G01N27/12 |
| 代理公司： | 北京高沃律师事务所 11569 | 代理人： | 刘潇 |
| 地址： | 430062 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明涉及气体探测器技术领域，提供了一种氢气探测器探测浓度范围和灵敏度的调控方法，在氢气探测器的制备过程中，通过改变氧化物半导体薄膜的退火气氛调控氢气探测器的探测浓度范围和灵敏度；所述退火气氛包括氧气、空气、真空或氢气。本发明充分发挥了传统的金属氧化物气敏材料的优势，利用不同气氛对氧化物半导体薄膜进行退火处理，得到具有不同表面粗糙程度和氧空位浓度的薄膜，从而实现对氢气探测器探测浓度范围和灵敏度的调控，获得不同探测浓度范围和不同灵敏度的氢气探测器，从而满足不同场合对氢气传感器的要求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 氢气 探测器 探测 浓度 范围 灵敏度 调控 方法 | ||
【主权项】：
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